奈米控制推力感測器

精度達到200奈米

將推力高度以奈米級控制於掌握之中

在推拉力測試機中,推力高度是最具挑戰性的對位項目之一。測試之間的差異可能會影響测量结果,並使測試结果不太可靠。具有革命性的奈米控制推力感測器通过在推力感測器體内整合獨特的驅動器和閉回路控制来解决所有這些問题。

感測器在测試期間補償了推力高度的任何變化,並使推力測試期間的推力高度完全可追溯。它是测試精度要求高的應用(如晶片级、塗料和導

線框架)的絕佳解决方案。

Nano control shear sensor SMU

奈米控制推力感測器

  • 精度為200奈米(|偏差| + 3σ)可快速移動至推力高度
  • 可用於100 gf推力感測器和1 kgf推力感測器(非旋轉)
  • 力感測器精度±0.075%
  • 可在SMU(單一功能測量模組)上使用
  • 可在所有Sigma系統上使用
  • 專利WO2018139930
Nano control shear sensor

奈米級推力高度控制

专利的奈米控制推力感測器在编程推力高度的200奈米範圍内始终保持一致,並在測試期間保持此對位。感測器通過使用内部驅動器和閉回路控制在測試期間補償了推力高度的任何變化。與利用夾緊和其他步骤的傳统方法相比,到達推力高度的移動速度更快,從而提高了Sigma推拉力測試機每小時的測試數量。

Programmable landing force

可程式設計landing force(與待測物接觸力)

推力高度控制中另一個難以控制的方面是landing force與待測物接觸力。所有Sigma推力感測器都包括一个垂直力感測器,為其提供獨特的可编程landing force功能。没有其他推拉力測試機可以實現下至5 gf的landing force。

Increased UPH

每小時測試次數增加

通過革命性的奈米控制推力感測器最大化每小时測試次數。該推力感測器到達推力高度的速度比傳统推力感測器更快。

Sigma已经是市場上最快的推拉力測試機。通過經驗豐富的用户證明,與大多數競爭系统相比,Sigma的UPH最高可快39%。奈米控制推力感測器顯着地最大化了每小时測試數量(UPH)。

經過驗證的200奈米精度

下面的測量报告顯示,重複性遠低於规格的200奈米。为了調查,我們推掉20个垫(bump),编程推力高度为2.3微米。 Bruker白光干涉儀测量了所有被推完bump剩餘的實際高度。推力高度的標準偏差僅为35奈米。奈米控制推力感測器的穩定性在行業中設定了一個新的革命性標準。

Shear height precision down to 200 nm
Record and trace

記錄和追蹤推力高度

除了在推力高度方面實現和保持前所未有的精度外,Sigma推拉力測試機還會在測試期間紀錄推力高度。測量的推力高度可以在力圖上的二次垂直軸上顯示,因此首次可以追溯。

精確應用的推力解決方案

奈米控制推力感測器与Sigma推拉力測試機和靈活的工作台结合使用,使以前被認為是不可能進行的鍵合推力测試成為可能,並極大地增强了對其他现有測試的意義。這對於大多數晶片级測試、塗料測試和導線框架應用的測試尤其如此。

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Clyde Chen