測試工具對位

自動化測試

Automation Toolalignment

正確測試正確的銲接位置

精確的工具對準對於正確測試正確的銲接位置至關重要。 同心度校正可實現小於5 µm的工具偏心度,並且獨特的工具設計可在對準過程中提供幫助。

Tool alignment
Hook concentricity correction
Shear concentricity correction

測試工具的同心度校正

感測器和測試用的工具在生產過程中的公差都會造成同心度偏移。 Sigma軟體補償該偏移量並校正其同心度,以確保測試工具在旋轉時,工具位置與中心對齊。

使用軟體校正導引精靈,可以通過3種方式補償推刀和勾針工具的公差和同心度:

 

  • 手動調整對齊
  • 利用刻印在特殊材料
  • 利用視覺系統進行自動校正

軟體校正可以更一致,更準確,以達成小於5 µm的偏心率。 但是,機械式調整卻是固定鉤針同心度的最佳方法。

自動對位推刀

專利的自動對位推刀專門針對大面積或堆疊的晶片,因為焊接強度與晶片面積成正比,但可施加推力的面積有限。 真空安裝推刀的方式,將柔軟材質的推刀固定在適當的位置並稍微旋轉(自動對準)。 晶片邊緣和推刀工具之間的表面不規則會導致多個較小的接觸點。 推刀的軟材料在這些點處變形。 這種變形大大降低了會導致晶片破裂失效的高接觸應力。
Self aligning shear tool 1
Controlled shear height
Self aligning shear block
Deep access alignment

深腔測試

當樣品的某些部分阻礙了從顯微鏡到測試點的觀察路徑時,專用的深腔測試工具和靈活的相機就可以測試複雜的樣品結構。 標準Sigma和落地式HF分別提供50毫米和80毫米的深腔測試能力,也保持清晰的觀察樣品路徑。

六合一旋轉測試模組(RMU)

從六合一旋轉測量單元(RMU)中快速輕鬆地選擇正確的工具。 RMU在6個內置感測器之間切換,最大為200 kgf。 拉力,下壓力和推力感測器的任何組合都是可能的,包括USB CBP鑷子。

Revolving measurement unit
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Clyde Chen