Sigma Lite(ライト)は、初期導入コストを抑えたモデルです。測定精度、最大対応荷重、X軸ステージ可動範囲、カメラオプション等がスタンダードモデルと異なりますが、Sigmaボンドテスター最大の特徴である回転式測定ヘッドをご使用頂けます。 導入後、必要に応じてスタンダードモデルと同等の仕様にアップグレード可能です。アップグレード可能な内容は以下の通りです:
シェアセンサー専用のヘッド(SMU) 、プル/プッシュセンサー専用ヘッド(PMU)もございます。センサー精度は回転ヘッド(RMU)搭載時と同一です。各ヘッドでツール高さは共通のため、ヘッド交換後も顕微鏡の高さ調整は不要です。
シェアセンサー専用のヘッド(SMU) 、プル/プッシュセンサー専用ヘッド(PMU)もございます。センサー精度は回転ヘッド(RMU)搭載時と同一です。各ヘッドでツール高さは共通のため、ヘッド交換後も顕微鏡の高さ調整は不要です。
人的エラーを排除し、生産コストを節約します。
ロボットによるハンドリングにより、アプリケーションの安全なロードとアンロードが保証され、ハンドリングエラーや損傷が回避されます。以下のハンドラーを提供しています。
オープン Sigma ソフトウェアを使用すると、トータルオートメーションのステップ、位置、コマンドを簡単にプログラミングできます。オートメーション エディターは、カメラの視覚化とインテリジェントなウィザードを採用しています。
最大 3 つのライブ カメラ オプションを使用して、見えないものを確認します。高解像度カメラ、柔軟な LED 照明、素晴らしい画像処理オプションを使用して、画像やビデオで興味のある特徴を引き出します。
正しい結合を正しくテストするには、正確なツールの位置合わせが不可欠です。完璧な位置合わせを実現するためのいくつかのソリューションを提供しています。
認識可能な形状、パターン、またはマークを、位置決めおよび自動ツール位置合わせのためのグローバルまたはローカルの基準として定義します。
プロセス公差や部品の取り扱いによって位置がずれるコンポーネントとファインピッチ ワイヤを認識します。
A Sigma は、採点をより効率的かつ一貫性のあるものにするための 2 つの選択肢を提供します。
グレーディング支援を使用して、テスト結果画像の故障モードを自動的にグレーディングします。光学検査では、残っているバルク材料の面積が全体に占める割合として計算されます。
詳細な光学検査は、画像測定を実行したり、取得したテスト結果の故障モードを特定したりするのに役立ちます。より高度な画像処理、フィルタリング、セグメンテーション、および形状の検出には、自動光学検査 (AOI) を使用できます。
追跡と制御のための自動エクスポートと SECS/GEM を使用してデータ処理を改善します。
回転測定ユニット (RMU) には、さまざまなプル、ピール、プッシュ、またはせん断ツールで構成可能な最大 6 つの柔軟なセンサーが収納されています。これにより、最大 200 kgf までの連続テストが可能になります。
回転測定ユニット (RMU) には、さまざまなプル、ピール、プッシュ、またはせん断ツールで構成可能な最大 6 つの柔軟なセンサーが収納されています。これにより、最大 200 kgf までの連続テストが可能になります。
ナノ制御せん断センサーは、せん断センサー本体内に閉制御ループを備えた独自のドライブを備えています。これにより、ウェハレベル、コーティング、リードフレームなどの重要なアプリケーションをテストする際に、せん断高さの精度と安定性が 200 nm の精度で向上します。
STAGES | SIGMA MF |
---|---|
X-stage (mm) | 370 |
Y-stage (mm) | 168 |
Z-stage (mm) | 168 |
Axis speed (mm/s) | 50 |
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm) | 30 |
Digital temperature correction | |
ACCURACY | |
Accuracy up to 300 kgf (%) | 1,5 |
Accuracy up to 300 kgf (%) | 0.075 |
ADC resolution (bit) | 24 |
Sampling frequency (kHz) | 10 |
Shear height (step back) accuracy at 300 kgf | ±500 μm |
Programmable landing force down at 300 kgf | down to 200 gf |
Tool rotation | |
MECHANICAL | |
Footprint X (mm) | 620 |
Footprint Y (mm) | 558 |
Height (mm) | 608 |
Weight (± kg) | 80 |
仕様の詳細については販売代理店までお問い合わせください。仕様は予告なく変更されることがございます。
標準仕様
オプション
非対応
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Am Haupttor / Bürocenter
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