ナノレベルで高さ制御可能なシェアセンサー

シェアテスト時のツール高さ制御は、ボンドテスターによる測定においてチャレンジングな領域の一つです。高さのばらつきにより測定値や破壊モードに違いが生じ、測定結果の信頼性が低下する可能性があります。XYZTEC社では、クローズドループ方式のユニークドライブ機構による革新的なナノレベル高さ制御機構を開発し、シェアセンサーに搭載することが可能になりました。

高さセンサーがシェアテスト中の変位を測定、その結果に基づきシェア高さを補正することで、ウェハレベルパッケージのデバイス、被膜、リードフレームでのシェア測定結果の信頼性が大きく高まります。